深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”）科创板IPO迎来新进展。

上交所官网显示，上交所上市审核委员会定于11月14日召开2025年第54次上市审核委员会审议会议，审核恒运昌首发事项。恒运昌成为2025年第二批被抽中现场检查企业中的首家上会企业。

据了解，恒运昌是半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。公司科创板IPO于2025年6月13日获得受理，并于7月6日进入问询阶段。

本次冲刺IPO，恒运昌所募集资金拟全部用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目、补充流动资金。

招股书显示，恒运昌的核心产品等离子体射频电源系统是半导体制程工艺中薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶及键合等工艺控制的关键，是激发并维持稳定、纯净等离子体的“心脏”，直接决定设备的工艺能力和产品良率。

目前，等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难环节之一，根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%。

在半导体的制造世界里，等离子体射频电源系统通过精确控制电流频率和功率，指挥着半导体制造过程中的等离子体变化，确保在晶圆表面精确、均匀地沉积出薄膜层、精细地刻蚀出复杂图形和去除光刻胶等。由于等离子体具有独特的光、热、电物理特性以及高活性、高能量的特点，为半导体精密制造提供了不可替代的工艺基础。

据介绍，恒运昌聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关，历经十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen 三代产品系列，成功打破了美系两大巨头 MKS 和 AE 长达数十年在国内的垄断格局。

当前，恒运昌已具备成熟的规模化量产能力，公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。

报告期内，恒运昌自研产品中的等离子体射频电源系统收入金额持续增加，主要原因系伴随中国大陆半导体产业的快速发展以及半导体国产化浪潮，公司作为关键半导体设备的核心零部件供应商，通过持续加大研发、加强与客户合作，自研产品的营业收入大幅增加。同时，公司围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案，引进的真空泵等产品的收入也保持稳定增长。

截至2025年6月30日，公司与上述客户已实现百万级收入的自研产品共38款，实现千万级收入的自研产品共24款。

在业绩表现上，2022年至2024年，恒运昌的营业收入从1.58亿元增长至5.41亿元，复合增长率高达84.91%；归母净利润从0.26亿元增长至1.41亿元，复合增长率高达131.87%。最新披露的招股书显示，今年上半年，公司实现营收3.04亿元、净利0.69亿元。其业绩增长迅速，展现出强劲的成长潜力。

同时，公司主要自研产品等离子体射频电源系统在报告期内各期占自研产品总营业收入比例分别为94.62%、90.50%、93.32%和 90.25%。

根据弗若斯特沙利文统计，2024 年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，恒运昌的市场份额位列第一，市场地位领先。

全球半导体设备市场持续扩张正为恒运昌提供更广阔的空间。

据国际半导体产业协会（SEMI）预计，未来两年全球半导体设备市场规模将继续扩大，2025年将增长至1255亿美元、2026年有望增长至1381亿美元，持续刷新历史新高。

同时，AI技术正推动半导体市场强劲复苏。截至2025年9月，全球半导体销售额达到695亿美元，同比大幅增长25.1%，创下单月历史新高。2025年全球半导体销售额预计达到7280亿美元，同比增长15.4%。

对此，恒运昌表示，未来，公司将抓住半导体产业链国产化的机遇，在国家政策大力支持下，持续致力于半导体设备核心零部件的研发生产，通过自主创新提高公司产品的技术先进性、丰富公司产品种类、扩大产品市场占有率，助力国内半导体设备企业实现关键零部件全面自主可控。

来源：上海证券报